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??根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收管理辦法》、《關(guān)于規(guī)范建設(shè)單位自主開展建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收的通知(征求意見稿)》、《建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收技術(shù)指南 污染影響類等有關(guān)規(guī)定,建設(shè)單位于20240906日組織驗(yàn)收組踏勘了建設(shè)項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng),對(duì)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告進(jìn)行了審查,提出了驗(yàn)收意見。為更好地做好本項(xiàng)目的環(huán)境保護(hù)工作,現(xiàn)對(duì)該項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收?qǐng)?bào)告及驗(yàn)收意見進(jìn)行公示。

一、項(xiàng)目簡(jiǎn)介

蘇州長(zhǎng)光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司(以下簡(jiǎn)稱公司)成立于20183月,由蘇州長(zhǎng)光華芯光電技術(shù)有限公司(以下簡(jiǎn)稱長(zhǎng)光華芯光電公司)與蘇州高新區(qū)政府共同創(chuàng)立,位于蘇州高新區(qū)科技城漓江路56號(hào),主要進(jìn)行半導(dǎo)體光電器件及系統(tǒng)的開發(fā)研究及生產(chǎn),包括薄膜外延生長(zhǎng)、芯片加工、光電器件制作、光學(xué)模塊、光電系統(tǒng)集成。

半導(dǎo)體激光器是本項(xiàng)目產(chǎn)品之一,又稱激光二極管,是用半導(dǎo)體材料作為工作物質(zhì)的激光器。它體積小、壽命長(zhǎng),在激光通信、光存儲(chǔ)、光陀螺、激光打印、測(cè)距以及雷達(dá)等方面已經(jīng)獲得了廣泛的應(yīng)用。其工作原理是通過一定的激勵(lì)方式,在半導(dǎo)體物質(zhì)的能帶(導(dǎo)帶與價(jià)帶)之間,或者半導(dǎo)體物質(zhì)的能帶與雜質(zhì)(受主或施主)能級(jí)之間,實(shí)現(xiàn)非平衡載流子的粒子數(shù)反轉(zhuǎn),當(dāng)處于粒子數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài)的大量電子與空穴復(fù)合時(shí)便產(chǎn)生受激發(fā)射作用。高能激光發(fā)展的核心之一是半導(dǎo)體激光器,2017年半導(dǎo)體激光器中國(guó)市場(chǎng)收入較2016年增長(zhǎng)15.5%,達(dá)到21.9億美元。中國(guó)作為全球最大制造國(guó),我國(guó)芯片主要依賴國(guó)外進(jìn)口,特別是在高速光通訊、3D傳感等蓬勃發(fā)展的領(lǐng)域中。作為全球最大的消費(fèi)市場(chǎng),我國(guó)對(duì)于芯片產(chǎn)業(yè)有各種不同的需求,對(duì)于低端芯片需求量也非常大,芯片的進(jìn)口嚴(yán)重阻礙了我國(guó)的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。在當(dāng)下科技競(jìng)爭(zhēng)的背景下,發(fā)展芯片產(chǎn)業(yè)具有一定的緊迫性,過程會(huì)很曲折,但是只有將核技術(shù)掌握在自己手中才是硬道理。為了解決我國(guó)高功率半導(dǎo)體激光器芯片及器件的空心化問題,公司利用蘇州長(zhǎng)光華芯光電技術(shù)有限公司已有的高功率半導(dǎo)體激光芯片優(yōu)勢(shì),積極向激光3D傳感芯片,高速光通信芯片、激光照明等方向與領(lǐng)域拓展,全面打造中國(guó)激光芯。因此,蘇州長(zhǎng)光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司投資20000萬元建設(shè)年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目。

環(huán)評(píng)審批過程:本項(xiàng)目投資20000萬元進(jìn)行年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目建設(shè)。項(xiàng)目已通過蘇州高新區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)展和改革局備案,項(xiàng)目代碼為2018-320505-39-03-550372。201911月,企業(yè)委托蘇州市宏宇環(huán)境科技股份有限公司編制了《蘇州長(zhǎng)光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》,并于202024日取得蘇州市行政審批局的審批意見(蘇行審環(huán)評(píng)[2020]90054號(hào))。

驗(yàn)收工作的開展:2024717-18日、87-8日和826-27日,公司委托蘇州環(huán)優(yōu)檢測(cè)有限公司及江蘇德昊檢測(cè)技術(shù)服務(wù)有限公司對(duì)蘇州長(zhǎng)光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目進(jìn)行驗(yàn)收監(jiān)測(cè),根據(jù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)結(jié)果及現(xiàn)場(chǎng)情況進(jìn)行自主驗(yàn)收,由蘇州市宏宇環(huán)境科技股份有限公司編制驗(yàn)收調(diào)查報(bào)告

變動(dòng)情況:對(duì)照環(huán)評(píng),本項(xiàng)目驗(yàn)收氮?dú)夤駭?shù)量較環(huán)評(píng)增加6臺(tái),光刻、濕法刻蝕工段各式測(cè)試儀數(shù)量較環(huán)評(píng)增加7臺(tái),以上均為輔助設(shè)備:此外,在生產(chǎn)工藝無變化的前提下,襯底原料用5kg氮化鎵替代砷化鎵,濕法刻蝕工段使用環(huán)評(píng)未涉及的氫氧化銨;

環(huán)評(píng)中外延工序產(chǎn)生少量未反應(yīng)氣體(磷烷、砷烷、硅烷、氨氣)和反應(yīng)生成氣體(甲烷、顆粒物)通過設(shè)備配套過濾器處理后,經(jīng)管道輸送至洗滌塔一級(jí)處理(其中氨氣為堿性,單獨(dú)進(jìn)入氨氣洗滌塔進(jìn)入堿液噴淋塔二級(jí)處理,最后經(jīng)2#生產(chǎn)樓屋頂?shù)?/span>25米排氣筒P1排放

項(xiàng)目實(shí)際從安全角度考慮,2臺(tái)以氮化鎵襯底原料、氨氣為反應(yīng)氣體的外延工序廢氣經(jīng)水噴淋預(yù)處理,和酸性廢氣以及設(shè)備自帶過濾器-燃燒器預(yù)處理的外延工段少量未反應(yīng)完的硅烷氣體(磷烷、砷烷、硅烷、氨氣)和反應(yīng)生成氣體(甲烷、顆粒物)一同匯入堿液噴淋塔裝置處理,尾氣由2#生產(chǎn)樓屋頂?shù)?/span>25米排氣筒P1排放;其余16臺(tái)化學(xué)氣相外延MOCVD設(shè)備中每4臺(tái)設(shè)備對(duì)應(yīng)一套二級(jí)加藥噴淋裝置(加入次氯酸鈉、氫氧化鈉、磷酸藥劑)(共設(shè)置5套,41備)處理后通過425米高排氣筒排放(P3、P4、P5、P6,此外P7為備用處理設(shè)施對(duì)應(yīng)排氣筒),且設(shè)置砷烷、磷烷排放在線監(jiān)控報(bào)警系統(tǒng);使用砷烷、磷烷的外延廢氣經(jīng)管道輸送至洗滌塔和二級(jí)加藥噴淋裝置處理,尾氣由2#生產(chǎn)樓屋頂?shù)?/span>25米排氣筒P3、P4、P5、P6排放;

此外,項(xiàng)目實(shí)際對(duì)危廢中代碼有誤(有機(jī)廢液)、代碼變更(廢氣處理失效活性炭)、產(chǎn)生量有偏差(刻蝕廢液)、定義有誤(光催化UV燈管)、遺漏(氫氧化銨廢堿液)等問題一并進(jìn)行變動(dòng)修正。

公司于202312委托蘇州市宏宇環(huán)境科技股份有限公司編制《蘇州長(zhǎng)光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目一般變動(dòng)環(huán)境影響分析報(bào)告》,并對(duì)廢氣處理設(shè)施的變更進(jìn)行了專家評(píng)審,對(duì)照《污染物影響類建設(shè)項(xiàng)目重大變動(dòng)清單(試行)》(環(huán)辦環(huán)評(píng)函2020688號(hào)),明確以上不屬于重大變動(dòng),納入驗(yàn)收范圍。

1)廢水

公司廠區(qū)雨污水分流,項(xiàng)目生產(chǎn)廢水主要為一般酸堿廢水、含砷廢水、含砷拋光廢水、含砷研磨廢水、含氟廢水、含氮磷廢水、有機(jī)廢水、公輔廢水以及生活污水,其中:

一般酸堿廢水經(jīng)中和預(yù)處理后,同公輔廢水(制純濃水、冷卻排水)、食堂廢水(經(jīng)隔油預(yù)處理)和生活污水一并通過市政管網(wǎng)接入科技城水質(zhì)凈化廠統(tǒng)一處理,尾水排入滸東運(yùn)河;

含氟廢水(包括堿液噴淋廢水)經(jīng)化學(xué)沉淀-砂濾-樹脂交換預(yù)處理;有機(jī)廢水和含氮廢水經(jīng)高級(jí)氧化-生物反應(yīng)槽預(yù)處理;含砷研磨廢水經(jīng)超濾和砂濾預(yù)處理后與經(jīng)超濾和RO處理后的含砷拋光廢水一并進(jìn)入化學(xué)沉淀預(yù)處理;其他含砷廢水和含氮磷廢水經(jīng)化學(xué)沉淀預(yù)處理;以上預(yù)處理后的廢水合并進(jìn)入三效蒸發(fā)系統(tǒng)處理,出水經(jīng)RO后回用生產(chǎn)系統(tǒng)(純水制備),無外排;濃水委外處理;

公司設(shè)置900m3的消防尾水池(事故應(yīng)急水池),并在兩個(gè)雨水排口設(shè)置應(yīng)急截止閥門。

2)廢氣

本項(xiàng)目硅烷外延尾氣經(jīng)過濾+燃燒器+堿液噴淋塔預(yù)處理;酸洗、刻蝕等工段酸性廢氣由2套并聯(lián)堿液噴淋塔預(yù)處理;氧化尾氣由設(shè)備密閉收集后進(jìn)入設(shè)備自帶過濾器+燃燒器預(yù)處理,以上預(yù)處理后的廢氣合并由25m高的P1排氣筒排放;

有機(jī)廢氣集氣罩收集后,經(jīng)2套光催化氧化+活性炭吸附裝置處理(11備),尾氣由25m高的P2排氣筒排放;

砷烷、磷烷使用工序產(chǎn)生的廢氣由設(shè)備密閉收集,經(jīng)五套(四用一備)過濾+二級(jí)加藥噴淋裝置處理后,分別通過25m高的P3P4、P5P6、P7(備用)排氣筒達(dá)標(biāo)排放;

以上環(huán)節(jié)未收集到的廢氣車間無組織外排。封裝、回流工段產(chǎn)生的焊接煙塵采用集氣罩收集后經(jīng)焊煙凈化器處理后無組織排放,產(chǎn)生量較少,忽略不計(jì)。

項(xiàng)目以廠界邊界為起點(diǎn)設(shè)置100米衛(wèi)生防護(hù)距離,目前以上范圍內(nèi)無居民等環(huán)境敏感點(diǎn)。

此外,項(xiàng)目設(shè)置3個(gè)25m排氣筒用于車間內(nèi)強(qiáng)排風(fēng)及熱排風(fēng);食堂油煙經(jīng)油煙凈化器處理后屋頂外排。

3)噪聲

本項(xiàng)目噪聲主要為各類研磨、焊接、切割、打磨等設(shè)備和空壓機(jī)、廢氣處理風(fēng)機(jī)等運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲,企業(yè)通過隔聲、減振和距離衰減等措施,噪聲可以得到一定程度的削弱,減小對(duì)周圍的環(huán)境影響。

4)固體廢棄物

本項(xiàng)目產(chǎn)生的固體廢物主要為危險(xiǎn)固廢、一般工業(yè)固廢、生活垃圾。其中:

危險(xiǎn)廢物中的廢去光膠劑、廢去光膠劑、廢顯影液、酸洗廢液、有機(jī)廢液委托蘇州新區(qū)環(huán)保服務(wù)中心有限公司處置;廢燈管、刻蝕廢液委托蘇州步陽環(huán)保科技有限公司處置;刻蝕槽清洗廢液、碳化涂層、廢濾芯、晶圓邊角料、無塵布、危險(xiǎn)廢物包裝、廢活性炭、含氟污泥、含砷污泥、廢鹽渣、廢濾膜、廢反滲透膜、廢堿液、在線監(jiān)測(cè)廢液委托蘇州新區(qū)環(huán)保服務(wù)中心有限公司處置;

項(xiàng)目設(shè)置面積30m2的危廢倉(cāng)庫(kù),位于廠區(qū)東南角,建設(shè)符合《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18597-2023)的要求。

一般工業(yè)固廢主要為廢金屬靶材、殘余鍍料、殘余鍍料、不合格品、一般廢包裝,收集后定期委托州鑫雨豐環(huán)保科技有限公司綜合利用。

項(xiàng)目設(shè)置面積100m2的一般固廢倉(cāng)庫(kù),位于廠區(qū)東北角,一般工業(yè)固體廢物貯存基本滿足《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋標(biāo)準(zhǔn)》(GB 18599-2020)。

項(xiàng)目生活垃圾、餐廚垃圾由蘇州鑫雨豐環(huán)??萍加邢薰臼占膺\(yùn)處理,日產(chǎn)日清。

二、建設(shè)單位名稱和聯(lián)系方式

建設(shè)單位:蘇州長(zhǎng)光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司

建設(shè)地點(diǎn):蘇州高新區(qū)科技城漓江路56號(hào)

聯(lián)系人:韋工

聯(lián)系電話:17312540120

郵編:215299

三、征求公眾意見的主要事項(xiàng)

1)請(qǐng)公眾提供個(gè)人準(zhǔn)確信息主要包括:姓名、職業(yè)、文化程度、家庭住址及聯(lián)系電話;

2)根據(jù)您掌握的情況,認(rèn)為該項(xiàng)目運(yùn)營(yíng)對(duì)環(huán)境質(zhì)量造成的危害/影響方面及程度;

3)您是否知道/了解在該地區(qū)建設(shè)該項(xiàng)目;

4)您認(rèn)為該項(xiàng)目對(duì)環(huán)境造成的危害/影響程度;

5)您對(duì)該項(xiàng)目環(huán)保方面有何建議和要求;

6)從環(huán)保角度出發(fā),您對(duì)該項(xiàng)目持何種態(tài)度,并簡(jiǎn)要說明原因。

四、公眾提出意見的主要方式

????公眾可以通過以下方式提供意見:

1)通過Email方式

2)直接打電話的方式

3)寫信的方式

五、公示時(shí)間

公眾可在本項(xiàng)目公示之日起20個(gè)工作日內(nèi),向建設(shè)單位或驗(yàn)收調(diào)查機(jī)構(gòu)提出寶貴意見。

《蘇州長(zhǎng)光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收調(diào)查表》公示期:202499—20241011

驗(yàn)收公示-蘇州長(zhǎng)光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目.pdf

蘇州長(zhǎng)光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司-驗(yàn)收意見.pdf



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發(fā)布時(shí)間: 2024 09 09
蘇州長(zhǎng)光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收公示
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